真空氣氛爐的爐管有310s不銹鋼材質的，有剛玉材質的也有石英材質的。不銹鋼管式爐能做到高真空，可達0.001pa，但是溫度一般不超1000°C。剛玉管和石英管只能做到低真空，但溫度可超過1000°C。如果管式爐有地方漏氣，則應先檢查連接口部分。一般是這個地方的生膠帶太薄就容易漏氣，此時的管式爐壓升率很大，一般幾十分鐘就和大氣壓一樣了。